Microsondes / « microprobes »

GFD développe également des microstructures complexes comme par exemple les microsondes (dites « microprobes »). Ces microsondes permettent d?établir un contact électrique fiable avec des puces à semi-conducteurs et des circuits. Plus d?un million de contacts sont ainsi possibles sans que l?on puisse constater une usure notable de la sonde. Ce projet a bénéficié du soutien de BMBF. En coopération avec la Société Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH & Co. KG, des configurations de sondes novatrices ont été conçues et réalisées en technologie coplanaire pour le domaine des hautes fréquences.

Microsonde en diamant

Microsonde en diamant

En exécution coplanaire, les pointes en diamant sont destinées aux hautes fréquences. Dans ce cas, les deux doigts extérieurs constituent respectivement les conducteurs de terre et le doigt médian le conducteur de signaux. On peut utiliser la microsonde à l?intérieur d?une plage de fréquence allant jusqu?à 40 GHz.

Microsonde en diamant (agrandie)
Vue au microscope électronique à balayage de la pointe en diamant. Le doigt médian constitue le conducteur de signaux.